Protsessi jahutusveesüsteem koosneb järgmistest osadest: jahutid, pumbad, soojusvahetid, veepaagid, filtrid ja protsessiseadmed.
Veejahuti: pakkuge jahutusveesüsteemile külma allikat.
Veepump: survestage vesi, et tagada selle ringlus jahutussüsteemis.
Soojusvaheti: kasutage seda seadet soojuse vahetamiseks jahutusveesüsteemi ja jahutusveesüsteemi vahel, et kanda süsteemi koormuse otsas tekkiv soojus jahutusveesüsteemi.Soojusvahetite tüüpe on mitut tüüpi, mida saab nende vormi järgi jagada kesta- ja torutüüpideks, plaattüüpideks, plaatribitüüpideks, soojustorutüüpideks jne.Võrdluseks on plaatsoojusvaheti eelisteks väike jalajälg ja suur soojusülekandeala.Arvestades ruumi ja pindala kuluomadusi"pooljuhtide tehas, eelistatakse väikese jalajäljega seadmeid, et säästa maapinda ja insenerikulusid.
Veepaak: avatud süsteemis olev veepaak täidab peamiselt veeallika täiendamise rolli.Suletud süsteemi veepaak peab valima paisuveepaagi.Paisuveepaagil on kolm funktsiooni.Üks on piirata ja kompenseerida vee paisumist ja kokkutõmbumist süsteemis;teine on tagada stabiilne rõhk suletud tsirkuleerivale veesüsteemile ja mängida rolli süsteemi stabiliseerimisel;Kolmas on süsteemi veepumba indikaator, tavaliselt saadab paisupaak signaali süsteemi veepumba käivitamiseks või seiskamiseks.
filter: filtreerige tahked osakesed väljaProtsessi jahutusveesüsteemis on kaks suhteliselt sõltumatut süsteemi, jahutatud vesi ja jahutusvesi.Jahutatud vett annab jahuti ning jahutatud vesi ja jahutusvesi vahetavad soojust jahutusvee jahutamiseks ja seadmete temperatuuri vähendamiseks.Vesi pumbatakse tootmisseadmetest läbi veepumba soojusvahetisse, et tagada protsessi jahutusvee temperatuur, reguleerides jahutatud vee kogust, ning saadetakse seejärel pärast filtri läbimist tootmisliini seadmetesse ja seejärel tagasi veepump.Moodustamisprotsessi jahutusvesi ringleb korduvalt.Jahutatud vesi suunatakse otse jahutisse.