Automaatne temperatuuri ja niiskuse reguleerimine
Puhta ruumi temperatuur ja niiskus määratakse peamiselt protsessi nõuete järgi, kuid tingimusel, et protsessi nõuded on täidetud, tuleks arvestada inimese mugavust.Seoses õhupuhtuse nõuete tõusuga on trend, et protsessile esitatakse järjest karmimad nõuded temperatuuri ja niiskuse osas.
Kuna töötlemistäpsus muutub järjest peenemaks, muutuvad nõuded temperatuuri kõikumise vahemikule üha väiksemaks.Näiteks suuremahulise integraallülituse tootmise litograafiaga kokkupuute protsessis peab klaasi ja räniplaadi kui membraani materjali soojuspaisumistegur vahe olema väiksem ja väiksem.100 μm läbimõõduga ränivahv põhjustab temperatuuri tõustes 1 kraadi võrra lineaarset paisumist 0,24 μm.Seetõttu peab sellel olema püsiv temperatuur ±0,1 kraadi.Samas nõutakse üldjuhul madalat õhuniiskuse väärtust, sest peale inimese higistamist saab toode saastunud, eriti Naatriumikartvate pooljuhtide töökodade puhul ei tohiks selline puhas töökoda ületada 25 kraadi.
Liigne niiskus põhjustab rohkem probleeme.Kui suhteline õhuniiskus ületab 55%, tekib jahutusveetoru seinale kondensatsioon.Kui see juhtub täppisseadmes või vooluringis, põhjustab see mitmesuguseid õnnetusi.Lihtne roostetada, kui suhteline õhuniiskus on 50%.Lisaks adsorbeerivad õhus olevad veemolekulid, kui õhuniiskus on liiga kõrge, ränivahvli pinnal oleva tolmu keemiliselt pinnale, mida on raske eemaldada.Mida suurem on suhteline õhuniiskus, seda keerulisem on adhesiooni eemaldamine, kuid kui suhteline õhuniiskus on alla 30%, adsorbeeruvad osakesed kergesti pinnale elektrostaatilise jõu ja suure hulga pooljuhtide toimel. seadmed võivad rikki minna.Parim temperatuurivahemik ränivahvlite tootmiseks on 35–45%.
